상기 이유에 근거하여 알루미나 세라믹스는 우수한 종합 성능으로 인해 마이크로 일렉트로닉스, 파워 일렉트로닉스, 하이브리드 마이크로 일렉트로닉스 및 파워 모듈 등의 분야에서 많이 사용되고 있음을 알 수 있다.
1, Al2O3,
알루미나 기판은 기계적, 열적, 전기적 특성에서 대부분의 다른 산화물 세라믹스에 비해 강도가 높고 화학적 안정성이 높으며, 다양한 기술과 다양한 형상에 적합한 원료의 공급원이 풍부하기 때문에 전자산업에서 가장 일반적으로 사용되는 기판재료이다.
2, BeO
알루미늄 금속보다 열전도도가 높아 높은 열전도도가 요구되는 상황에서 사용된다.그러나 온도가 300 ° C를 초과하면 급격히 감소하며, 가장 중요한 것은 독성으로 인해 발생이 제한된다는 것입니다.
3, AlN
AlN의 매우 중요한 두 가지 특성은 높은 열전도도와 Si와 일치하는 팽창 계수를 주목할 만합니다.단점은 표면에 매우 얇은 산화물 층이라도 열전도도에 영향을 미치며, 소재와 공정을 엄격하게 제어해야만 AlN 기판의 일관성이 우수할 수 있습니다.하지만 경제가 발전하고 기술이 발전하면 이런 병목현상은 결국 사라질 것이다.
